CUP Central Utility Plant 中央动力厂房GEX General EXhaust 普通及热排气SEX Scrubber EXhaust 酸排气VEX Volatile orgaic compound EXhaust 有机溶剂排气AEX Ammonia EXhaust 碱排气PCW Process Cooling Water 工艺冷却水PV Process Vacuum 工艺真空HV House Vacuum 真空吸尘CW City Water 自来水FMCS Faility Monitoring Contro System 厂务监控系统 MCC Motor Control Center 马达控制中心 VFD Variable Frequency Device 变频器 CCTV Close Circuit Televsion 闭路电视 PA Public Adress system 广播系统FA Fire Alarm system 火灾报警系统UPW Ultra Pure Water 超纯水FWW Fluoride Waste Water 低浓度氢氟酸废水IWW Industry Waste Water 工业废水 OWW Organic Waste Water 有机溶剂废水 DAHW Drain Amonia Hydride Waste 含氨废水 RCL Recycle water 制程回收循环水RCM Reclaim water 制程回收再利用水HFW High Fluoride Waste water 高浓度氢氟酸废水 BGW Backgriding Waste water 晶背研磨废水 SAW Sulfuric Acid Waste water 硫酸废液 PAW Phosphoric Acid Waste water 磷酸废液 SW Stripper Waste water 剥离液废液TW Thinner Waste water 清洗废液PIX Pix waste water PIX废液SLOW Oxide slurry waste water 介电质研磨废水 SLWP Metal slurry waste water 金属研磨废水 SLWP Poly slurry waste water 多晶硅研磨废水 PN2 Process N2 制程用氮气 GN2 General N2 一般用氮气CDA Compressor Dry Air 压缩干燥空气 VMB Valve Manifold Box 阀箱 空调系统 AHU Air Handling Unit 空调箱 MAU Make-up Air Unit 外气空调箱VAV Variable Air Volume box 可变风量风箱FFU Fan Filter Unit 风车过滤器 HEPA High Efficiency Particulate Filter 高率过滤器 ULPA Ultra Low Penetration Filter 超高率过滤器 A/S Air Shower 空气浴尘室CUP Central Utility Plant 中央动力厂房电力系统 FMCS Faility Monitoring Control System 厂务监控系统 MCC Motor Control Center 马达控制中心 VFD Variable Frequency Device 变频器 CCTV Close Circuit Televsion 闭路电视 SCADA Supervisory Control And Data Acquisition 监视控制和数据搜集系MCC Motor Control Center 马达控制中心VFD Variable Frequency Device 变频器 水处理系统 UPW Ultra Pure Water 超纯水 RO Reverse Osmosis 逆渗透膜TOC Total Organic Carbon 总有机碳 MB Mixed Bed 混床UF UltraFiltration 超滤SC Strong Cation 强阳离子SA Strong Anion 强阴离子WA Weak Anion 弱阴离子DO Dissolved Oxygen 溶解氧MD Membrane Degasify 脱气膜GF Gravity Filter 重力式过滤器.DI Deionize 去离子水气体/化学系统 CQC Continuous Quality Control 连续品质控制系统VMB Valve Manifold Box 阀箱VMP Valve Manifold Panel 阀盘 GMS Gas Monitoring System 气体监测系统 CDS Chemical Dispense System 化学系统 SDS Slurry Dispense System 化学研磨系统 环境安全卫生 ESH Environment Safety Health 环境安全卫生 SCBA Self Contained Brathing Apparatus 自给式空气呼吸器HVAC AHU Air Handling Unit 空调箱MAU Make-up Air Unit 外气空调箱 VAV Variable Air Volume box 可变风量风箱 FD Fire Damper 防火风门FSD Combined Fire Smoke Damper 防火防烟风门 SD Smoke Damper 防烟风门PHX Plated type Heat Exanger 板式热交换器FFU Fan Filter Unit 风车过滤器 HEPA High Efficiency Particulate Filter 高率过滤器 ULPA Ultra Low Penetration Filter 超高率过滤器 A/S Air Shower 空气浴尘室A/L Air Lock 气闭门室DCC Dry Cooling Coil 干盘管 FCU Fan Coil Unit 小型冷风机SF Smoke Fan 消防排烟风车EF Exhaust Fan 通风排气风车CUP Central Utility Plant 中央动力厂房 GEX General EXhaust 普通及热排气SEX Scrubber EXhaust 酸排气VEX Volatile orgaic compound EXhaust 有机溶剂排气AEX Ammonia EXhaust 碱排气PCW Process Cooling Water 工艺冷却水PV Process Vacuum 工艺真空HV House Vacuum 真空吸尘CW City Water 自来水FMCS Faility Monitoring Control System 厂务监控系统 MCC Motor Control Center 马达控制中心 VFD Variable Frequency Device 变频器CCTV Close Circuit Televsion 闭路电视 PA Public Adress system 广播系统FA Fire Alarm system 火灾报警系统UPW Ultra Pure Water 超纯水RO Reverse Osmosis 逆渗透膜TOC Total organic carbon 总有机碳 MB Mixed bed 混床UF Ultrafiltration 超滤SC Strong cation 强阳离子SA Strong Anion 强阴离子WA Weak Anion 弱阴离子DO Dissolved oxygen 溶解氧M Membrane Degasify 脱气膜GF Gravity Filter 重力式过滤器.DI Deionize 去离子水FWW Fluoride Waste Water 低浓度氢氟酸废水 IWW Industry Waste Water 工业废水 OWW Organic Waste Water 有机溶剂废水DAHW Drain Amonia Hydride Wastewater 含氨废水 RCL Recycle water 制程回收循环水RCM Reclaim water 制程回收再利用水HFW High Fluoride Waste 高浓度氢氟酸废液 BGW Backgriding Waste water 晶背研磨废水 SAW Sulfuric Acid Waste 硫酸废液 PAW Phosphoric Acid Waste 磷酸废液 SW Stripper Waste 剥离液废液TW Thinner Waste 清洗废液PIX PIX waste PIX废液SLW-O SLurry Wastewater Oxide 介电质研磨废水SLW-M SLurry Wastewater Metal 金属研磨废水 SLW-P SLurry Wastewater Poly 多晶硅研磨废水 PN2 Process N2 制程用氮气GN2 General N2 一般用氮气CDA Compressor Dry Air 压缩干燥空气 VMB Valve Manifold Box 分流阀组箱 ESH ESH Environment Safety Health 环境安全卫生SCBA Self Contained Brathing Apparatus 自给式空气呼吸器 ISO International Organization for Standardization 国际标准化组织来源：特气论坛；Tks to @知一；Tks to @吴先森.
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